等离子净化设备是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在短的时间内发生分解，以达到降解污染物的目的的一种环保设备。

首先废气经均流板过滤棉进入设备时，由设备高压稳定高频放电，瞬间产生1.5万伏特至2万伏特高压，击穿废气。此阶段中，长链、多链废气分子由于键能较弱，约束力较小。很容易被击穿化学键破裂，从而变成小分子化合物，此为一阶段净化。

其次，随废气进入设备的水分子、氧分子被高压击穿断裂，生成强氧化基团羟基、臭氧分子等。这些强氧化基团与废气分子充分接触氧化，加快反应进程。整个反应干净，能量利用率高，净化效率非常高。

等离子功能段可以激发污染物能量，促使长链、多链污染物分子的分子键断裂重组，使难处理的污染物降解为较易处理的低碳污染物。

电子先从电场获得能量，通过激发或电离将能量转移到污染物分子中去，那些获得能量的污染物分子被激发，同时有部分分子被电离，从而成为活性基团。然后这些活性基团与氧气、活性基团与活性基团之间相互碰撞后生成稳定产物和热。

另外，高能电子也能被卤素和氧气等电子亲和力较强的物质俘获，成为负离子。这类负离子具有很好的化学活性，在化学反应中起着重要的作用。

（1）介质阻挡放电产生的低温等离子体中，电子能量高，几乎可以和所有的恶臭气体分子作用；

（2）反应快，不受气速限制；

（3）采用防腐蚀材料，电极与废气不直接接触，根本上解决了设备腐蚀问题；

（4）只需用电，操作简单，无需派专职人员看守，基本不占用人工费；

（5）设备启动、停止十分迅速，随用随开，不受气温的影响；

（6）气阻小，工艺成熟。

等离子净化设备应用于半导体、食品、新能源汽车、制药、喷涂、印刷、涂料、电子等行业。